本文标题:扫描电子显微镜汇聚透镜成像系统
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-4-7 12:43:42
扫描电子显微镜汇聚透镜成像系统
电磁透镜热发射电子需要电磁透镜来成束，所以电磁透镜必不可少。
通常会装配两组汇聚透镜和成像系统。
汇聚透镜用汇聚电子束，装配在真空柱中，位于电子枪之下。通常有
一组汇聚光圈与之相配。但汇聚透镜汇聚电子束，与成像会焦无关。
物镜为真空柱中最下方的一个电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚
到样品外部。
成像系统电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作
用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及一系列信号。
所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来
区分这些信号以获得所需要的信息。
虽然射线信号不能用于成像，但仍然将射线分析系统划分到成像系统
中。可电子探测器代替，但需一个偏压电场以筛除次级电子。
光学显微镜成像原理比较的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品
，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关
与样品结构有关。
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