本文标题:扫描电子显微镜的电子束与样品
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-5-9 11:00:03
扫描电子显微镜的电子束与样品
扫描电子显微镜的电子束与样品作用区内，还发射与样品物质其他性
质有关信号。例如：与样品化学成分分布相关的，
扫描电子显微镜的背散射电子，特征射线，俄歇电子，阴极荧光，样
品吸收电流等；与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测。
扫描电子显微镜的与半导体材料电学性能相关的，二次电子信号、电
子束感生电流信号；在观察薄样品时产生的透射电子信号等。
扫描电子显微镜的目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电
镜样品分析室，用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。
扫描电子显微镜对于固体材料的研究应用非常广泛，没有任何一种仪器
能够和其相提并论。
扫描电子显微镜的对于固体材料的全面特征的描述，扫描电子显微镜
是至关重要的。
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