本文标题:光学光源设计，对准仪的灯常在工作时用电扇冷却
信息分类:技术资讯 新闻来源：未知 发布时间：2017-9-30 1:10:43
光学光源设计，对准仪的灯常在工作时用电扇冷却
光学光刻
然而，实际系统比这些简单的叙述复杂得多。光源不是一个点，而
是一有限体积。它也会发射许多波长。光通过透镜／反射镜组合被收集
。每一光学元件会有某些缺陷，如局部畸变和色差。掩模本身也会反射
、吸收和相移入射的辐照。
在圆片表面的反射进一步使事情复杂化。结果，圆片表面产生的图
形(实像)只可能是数值近似。尽管这样，还需要很复杂的软件。可以买
到几种进行这样计算的商用程序。以下几节将提出一些简单的近似，可
用于替代实像光强更精确的计算而确定分辨率。
灯的第二个光源是汞原子本身，与高能电子的碰撞，推动汞原子的
电子进入能带的高能态。当它们回到低能态时，它们发射出光的波长相
应于其能量跃迁。这些光发射线谱非常尖锐，所以可用于确定等离子体
中的主要产生物。典型的汞灯线光谱。这些线按它们的能
量命名。对准机常常过滤掉除了一条单线外的全部线。
在工作时，高能汞离子轰击负电极。此时，它们通过称为溅射(spu
ttering)的物理过程，打出少量的电极材料。一些溅射出的电极材料涂
敷在石英玻璃壳的内壁。而且，灯内壁表面的高温会使石英玻璃慢慢失
透，留下白雾状形貌。溅射与失透结合一起减弱了输出强度。附加的吸
收能量使灯外壳更热。最后，灯常常由于爆裂而失效，这会严重损坏对
准光学系统。因此，对准机的灯通常在工作时用电扇冷却，而且在使用
一定小时数后更换。
简单的光学光源设计，当然不很实用。只有很小部分灯的辐照能到
达圆片上。除非圆片是球形的(不是通常所希望有的条件)，否则表面的
功率密度会是不均匀的。因此，光源光学系统设计有四个主要目标。第
一个是收集尽可能多的光辐照。没有这样的收集，曝光时间会不可实用
的长。第二个目标是要使整个曝光场辐照强度均匀，以避免圆片某些部
分过度曝光，而另外的区域则曝光不足。第三个目标是使辐照准直和成
形达到所需要的程度。通常，并不希望完全平行准直，常常应用小角度
的发散光来代替。
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