本文标题:电子显微镜与扫描式电子显微镜
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-3-29 18:24:19
电子显微镜与扫描式电子显微镜
现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过
带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。电子源是一个释放自由电
子的阴极，栅极，一个环状加速电子的阳极构成的。阴极和阳极之
间的电压差必须非常高，一般在数千伏到3百万伏特之间。
它能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不
低于万分之一。样品可以稳定地放在样品架上。此外往往还有可以
用来改变样品移动、转动、加热、降温。
电子显微镜的装置探测器用来收集电子的信号或次级信号。真空装
置用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收
或偏向，由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管
道与镜筒相联接。
电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。
电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显
微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。
透射显微镜用于观察不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜
主要用于观察固体表面的形貌，也能与射线衍射仪或电子能谱仪相
结合，构成电子微探针，用于物质成分分析；发射式电子显微镜用
于自发射电子表面的研究。
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