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电子显微镜的.电磁透镜的像差与消除

电子显微镜的.电磁透镜的像差与消除

电磁透镜的像差与消除是指电磁透镜中的像差类似于光镜中的像差
,其产生原理一样,故描述当中常常沿用光线一词来喻作电子线束
。电镜的像差也可以分成几类,只是所采用的相应消除措施与光镜
各不相同。
球差  由于成像的远轴光线与近轴光线的光路不同, 致使远轴光
线与近轴光线在光程上产生了差异,造成所形成影像的焦点位置出
现了前后不同,这一原因所引起的像差称为球面像差,又称球差。

当入射光与光轴发生倾斜时也会加大透镜的球差。所以电磁透镜和
光学透镜一样也常常加有透镜光阑,选用较小的孔径角,用以遮挡
远轴光线,着重利用近轴光线成像,从而降低球差带来的影响。

此外加装电子枪和电子束的倾斜校正线圈,也可以有助于消除或减
少球差.
衍射像差  光线遇到小孔或小障碍物时会产生绕向前进,这种衍射
效应所导致的像差称为衍射像差。