本文标题:显微镜中电子显微镜的真空系统
信息分类:站内新闻 新闻来源：未知 发布时间：2014-4-17 10:50:03
显微镜中电子显微镜的真空系统
电子显微镜的真空系统包括机械真空泵、扩散泵和真空阀门三部
分，并通过抽气管道与镜筒相联接。
电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成。
电子透镜是电子显微镜镜筒中的关键部件。
现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由稳定的直流励磁电流通过带
极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。
电子枪的作用是发射并形成速度均匀的电子束，由阴极、栅极和阳
极构成。
阴极管发射的电子通过栅极上的小孔形成射线束，经阳极电压加速
后射向聚光镜，起到对电子束加速、加压的作用。
使用中加速电压的稳定度要求不低于万分之一。 电子显微镜按结
构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电
子显微镜和发射式电子显微镜等。
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